第一、與電磁式電動(dòng)機(jī)相比，靜電電動(dòng)機(jī)能量轉(zhuǎn)換效率高。因此,小型化的靜電電動(dòng)機(jī)的電場(chǎng)能量密度可與電磁式電動(dòng)機(jī)的磁場(chǎng)能量密度相比擬。

第二、從結(jié)構(gòu)上講，靜電電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，電極表面所產(chǎn)生的電場(chǎng)強(qiáng)度與電極的厚度無關(guān)，電極和配線的截面積可以做得很小。

第三、靜電電動(dòng)機(jī)的電場(chǎng)強(qiáng)度只受絕緣材料性能的限制,縮小尺寸并不影響電場(chǎng)強(qiáng)度,產(chǎn)生的力與表面積成正比，通常絕緣材料的尺寸越小，性能越強(qiáng)。根據(jù)帕邢(Paschen) 定律，間隙越小,空氣電火花所產(chǎn)生的電場(chǎng)強(qiáng)度急劇增大。例如硅氧化膜這種絕緣材料，其絕緣強(qiáng)度可達(dá)幾百kV/ mm。

基于靜電電動(dòng)機(jī)的這些特點(diǎn)，各國(guó)開始了對(duì)小型化靜電電動(dòng)機(jī)的研究。隨著電子技術(shù)的高速發(fā)展，硅加工工藝逐漸成熟,集成電路加工尺寸可以做到深亞米級(jí)。在此背景下，美國(guó)加利福尼亞大學(xué)berkeley 分校的Muller 在1987 年提出在1μm～1mm 范圍內(nèi)制作以硅集成工藝為基礎(chǔ)的具有智能化結(jié)構(gòu)的MEMS 概念，到1989 年，該校學(xué)生L. S. Fan等人成功地在硅片上制作出直徑為120μm 的靜電電動(dòng)機(jī)(其結(jié)構(gòu)如圖7 所示） 。從此，靜電電動(dòng)機(jī)的研制主要集中在了超微型結(jié)構(gòu)上。